单模低发散角光子晶体垂直腔面发射激光器
垂直腔面发射激光器(VCSEL)广泛应用于光通信、光互联、激光打印、环境检测、原子钟、激光鼠标等领域。然而这些应用要求vCSEL单模工作。目前，实现单模VCSEL方法有多种，如缩小氧化孔径、表面刻蚀结构、反波导结构、三角孔状结构和光子晶体波导结构。然而由于前四种方法需要精确控制或者二次外延工艺，可重复性差。本文研究了光子晶体波导的特性，发现其是弱折射率导引的波导。弱折射率导引的光子晶体波导不仅实现了VCSEL单横模工作，而且有效地减小了VCSEL的发散角。
光子晶体 垂直腔面发射激光器 外延工艺 表面刻蚀
刘安金 渠红伟 陈微 周文君 邢名欣 郑婉华
中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室 北京市海淀区清华东路甲35号,100083
国内会议
长春
中文
235-236
2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）