ZnO基薄膜制备及光电磁特性的研究

摘要：

本研究组采用脉冲激光沉积(PLD)、磁控溅射等方法，在石英(SiO2)、单晶硅和有机柔性衬底上制备了掺杂不同元素的ZnO基薄膜功能材料。采用X射线衍射仪(XRD)、俄歇能谱仪、扫描电子显微镜(SEM)、荧光光谱(PL)、紫外可见分光光度计、霍尔效应、振动样品磁强计等测试手段，开展了对制备样品的结构、光学性能、电学性能以及磁学性能的研究。

关键词： 脉冲激光沉积 磁控溅射 光电磁特性 薄膜制备 氧化锌

作者: 吕有明 曹培江 朱德亮 贾芳 柳文军 曾玉祥 马晓翠

作者单位: 深圳大学材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,518060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国氧化锌学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

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在线出版日期: 2009-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）