阴极电沉积ZnO薄膜的取向控制生长

摘要：

随着取向的不同，ZnO薄膜在许多性质方面都表现出较大差别，因此在生长过程中控制ZnO薄膜的取向对于其实际应用是非常重要的。目前文献报道的用各种物理或化学方法制备的择优取向ZnO薄膜基本上都是沿c轴(<002>轴)生长的。本文采用阴极电沉积方法，在Zn(NO3)2+KNO3的混合水溶液中，以304不锈钢(ss)为衬底制备了沿小同晶向择优取向生长的ZnO溥膜。

关键词： 阴极电沉积 氧化锌 薄膜制备 择优取向

作者: 柳文军 曹培江 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明

作者单位: 深圳大学材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国氧化锌学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 36-37

在线出版日期: 2009-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）