收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试
近年来，随着集成电路技术和微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的不断提高，无线传感网络节点及便携式微电子产品应用越来越广泛。目前，微器件的电源主要是化学电池，但随着节点体积减小和使用数量迅速增加，更换大量的耗尽电池非常困难。因此，研制长寿命的微型化电源技术已经成为亟待解决的关键技术问题。本文利用非线性超声检测方法对两个45#钢疲劳试件的疲劳裂纹扩展进行了检测，验证了疲劳裂纹扩展长度与二次谐波激发效率的敏感关系。
超声检测 疲劳裂纹 微压电悬臂梁 振动能 制作工艺
李涛 褚金奎 韩冰峰
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，大连，116024
国内会议
哈尔滨
中文
31-32
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）