一种用于电容式微加速度计的低噪声高线性度全差分CMOS接口电路

摘要：

低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点，越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统中。微加速度计的前端检测敏感电路设计成为此类加速度计的一大挑战。本文提出了一种用于电容式闭环微加速度计的低噪声、高线性度的全差分接口电路，包括全桥平衡模块、电荷积分模块、相关双采样模块、比例积分微分(PID)控制模块、平衡力反馈模块及和时序控制模块。

关键词： 微加速度计 接口电路 电荷积分 比例积分微分 时序控制

作者: 刘晓为 李海涛 尹亮 董长春 施长治

作者单位: 哈尔滨工业大学，微电子系，哈尔滨，黑龙江，150001 教育部，微系统与微结构制造重点实验室，哈尔滨，黑龙江，150001 哈尔滨工业大学，微电子系，哈尔滨，黑龙江，150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 55-56

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）