溶胶-凝胶法制备硅基纳米ZrO2薄膜湿敏元件
在测量科学中湿度是一个非常重要的参数，目前湿度传感器的研究正向集成化、智能化、多参数检测的方向发展。其中集成湿度传感器主要利用了与CMOSIC工艺相兼容的技术将传感器集成在硅片上，从而提高了传感器的灵敏度、线性度、精确度等，减小了器件的尺寸，利于低成本批量生产。本文采用溶胶-凝胶法研制了与CMOS工艺兼容的ZrO2/TiO2/Pt/SiO2/Si结构的纳米ZrO2薄膜湿敏元件，并进行了ZrO2薄膜的XRD表征及元件感湿性能的测试。
溶胶凝胶 纳米薄膜 湿度传感器 湿敏元件
苏梅英 王兢 杜鹏
大连理工大学电子与信息工程学院 大连 116023
国内会议
哈尔滨
中文
81-82
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）