硅基二氧化锡薄膜的制备与特性研究
甲醛气体在工业、医药等日常生活领域被广泛应用。但甲醛气体对人体健康十分有害。在半导体甲醛气体传感器的研究中，由于薄膜型微结构传感器是以硅片为衬底，可以集成在集成电路中，所以薄膜型微结构传感器是发展方向。由于Sn02材料在价格、稳定性、可靠性与相对低的工作温度各方面都表现出良好的折中，因此基于二氧化锡的固态气体传感器是最常用的气体检测设备。制作二氧化锡薄膜的制备及特性是这种甲醛气体传感器研制的关键步骤。溶胶凝胶法工艺简单、成本低，是制备二氧化锡薄膜的主要方法之一。本文研究了用溶胶-凝胶方法在硅衬底上制备纯二氧化锡薄膜及掺杂钯的二氧化锡薄膜的工艺及薄膜特性。
二氧化锡 溶胶凝胶 气体传感器 薄膜制备
刘博 王兢 张鹏
大连理工大学电子与信息工程学院 大连 116023
国内会议
哈尔滨
中文
109-110
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）