基于Zeni VLG的MEMS与电路共同仿真技术研究

摘要：

依托国有自主知识产权的电路仿真平台Zeni VLG，建立了MEMS系统级模型库和模拟电路行为级模型库，研究了MEMS结构与电路共同仿真法，通过一个跷跷板加速度计与电路的共同仿真对模型库和仿真方法进行了验证，与国外商业软件Saber对比，瞬态仿真误差在3％之内，说明了仿真方法的可行性和模型库的准确性。

关键词： 模拟电路 电路仿真 模型库 加速度计

作者: 牛吴彬 苑伟政 常洪龙 徐景辉 马炳和

作者单位: 西北工业大学，微/纳米系统陕西省重点实验室 西安 710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 145-146

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）