微型气体传感器之设计与制作

摘要：

本研究之微型气体传感器采用微机电制程技术，采用面形微细加工方式制作出一微型气体传感器，此微型传感器整体体积较一般所使用之传感器小，结构简单，因为微小尺寸，让它能有很好的灵敏度与精密量测性。此微型气体传感器相较现行常见气体感测系统，如红外线为基础之光学气体传感器、或是气相层析/质谱仪、拉曼光谱仪等特定仪器，具有低成本、构造简单、可靠度…等优点，此外不需经过气体采样程序进行现场实时量测效果。

关键词： 气体传感器 微细加工 微机电系统

作者: 李佳言 张智铭 王盟翔 王誉程 傅龙明

作者单位: 屏东科技大学材料工程系，屏东，91201 金属工业研究发展中心，高雄，81101 大叶大学机械与自动化工程学系，彰化，51541

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 202-203

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）