PMMA毛细管电泳芯片热压键合参数研究

摘要：

毛细管电泳芯片是一种基于MEMS技术制作，用于生化样品分离、分析、检测的微流控芯片。目前，芯片工艺研究主要集中在微结构制作，对于热压键合技术完成微通道密闭未进行系统研究。热压键合主要参数有键合温度、键合压力、保温保压时间。确定工艺参数对微结构的尺寸形变和成品率有非常重要的影响。本文综合考虑键合强度和截面形变率两方面因素，定义PMMA芯片键合质量评估方法，优化热压键合工艺参数，并对键合芯片完成无机离子检测验证实效性。

关键词： 毛细管电泳芯片 热压键合 微流控芯片 工艺参数

作者: 刘晓为 李玲 王蔚 张海峰 张占奎

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心，哈尔滨，150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 234-235

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）