会议专题

面向压力检测的SAW谐振器的设计与制作

本文提出了一种基于ST-X石英衬底制作的双端谐振器进行压力测量的优化设计方案,并在此基础上进行了谐振器的研制,谐振器的中心频率设计为440MHz。

压力检测 谐振器 石英衬底

周长见 张兆华 缪顾进 陈涛 任天令 林惠旺 刘理天

清华大学微电子学研究所,清华大学,北京,100084 清华信息科学与技术国家实验室,清华大学,北京,100084

国内会议

中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

哈尔滨

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242-243

2009-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)