面向压力检测的SAW谐振器的设计与制作

摘要：

本文提出了一种基于ST-X石英衬底制作的双端谐振器进行压力测量的优化设计方案，并在此基础上进行了谐振器的研制，谐振器的中心频率设计为440MHz。

关键词： 压力检测 谐振器 石英衬底

作者: 周长见 张兆华 缪顾进 陈涛 任天令 林惠旺 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所，清华大学，北京，100084 清华信息科学与技术国家实验室，清华大学，北京，100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 242-243

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）