AFM动态模式下测量纳米梁谐振器的振动特性

摘要：

针对纳米振动测量中电学方法和光学方法的间接测量、分辨率低，以及带宽低的局限性，本文采用原子力显微镜(AFM)的动态模式测量纳米梁谐振器的离面机械振动特性。AFM典型的动态模式包括轻敲模式和轻敲力曲线模式，本文分别对AFM的上述两种动态测振模式建立了物理模型，采用Runge.Kutta数值方法计算了AFM微悬臂梁探针对样品离面振动的机械动态响应，并以此为前提分析和讨论了AFM测振技术的可行性和工作带宽。

关键词： 振动测量 纳米梁谐振器 动态测振 机械动态响应

作者: 徐临燕 栗大超 傅星 胡小唐 张海霞

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津，300072 北京大学微电子学研究所，北京，100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 246-247

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）