低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

摘要：

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言，没有可动部件，不需要复杂的微泵微阀结构和控制，成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理，只需单层控制电极，工艺简单，通过优化结构，采用高介电常数介质层和减少介质层厚度，大大降低了液滴驱动电压。

关键词： 微全分析系统 数字微流控芯片 静电力驱动

作者: 刘翔 皋华敏 李铁 周萍 王跃林

作者单位: 传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 中国科学院研究生院，北京，100039 传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 272-273

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）