微小等离子体反应器的导出机理研究

摘要：

扫描刻蚀加工系统作为一种无掩膜加工技术，集成了扫描探针加工的分辨率高和等离子体加工适用范围广的优点。刻蚀速率和分辨率是该系统的关键参数，为此有必要对其刻蚀机理进行深入研究。微小等离子体反应器是上述加工系统的核心部件，笔者利用前述工作中的模型和方法对其进行了数值仿真研究，所采用的数值模型，网格划分。

关键词： 扫描刻蚀加工 无掩膜加工 等离子体反应器 数值仿真

作者: 王海 张秋萍 向伟伟 文莉 褚家如

作者单位: 安徽工程科技学院，安徽芜湖，241000 中国科学技术大学，安徽合肥，230027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 290-291

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）