会议专题

一种新型的用于微机械陀螺的单端积分差分放大电路

微机械陀螺有体积小,重量轻,成本低,可靠性高和可批量生产等优点,因此在军事和民用方面都有着广阔的发展前景和明确的应用目标。由于检测的是微弱信号,故要求检测电路噪声小且采用高频载波调制方法,连续时间电压检测的噪声特性优于相关双采样的开关电容检测电路和连续时间电流检测电路。Jongpal Kim等人提出了一种单端积分差分放大的连续时间电压检测电路结构,分别用两个独立的积分器对差分电容中的一个进行积分,再分别经过高通滤波滤除低频噪声,然后差分放大,克服共模噪声的影响。本文将这种结构同单端积分器和全差积分器方案进行了分析比较,并进行了电路级的优化设计。

微机械陀螺 差分放大电路 全差积分器 电压检测 载波调制

刘晓为 许娜 尹亮 周贤中 谭晓昀

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001

国内会议

中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

哈尔滨

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304-305

2009-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)