石英晶振式碳纳米管湿度传感器

摘要：

自1991年Iijima发现碳纳米管以来，由于碳纳米管的比表面积大，吸附性能好等特点，可广泛应用于气敏及湿敏材料中。目前国内外对碳纳米管湿度传感器的研究主要为电阻型和电容型传感器，而对石英晶振式碳纳米管湿度传感器的报导相对较少。本文制作了一种石英晶振式碳纳米管湿度传感器，对传感器灵敏度、碳纳米管喷涂量对传感器灵敏度的影响、传感器重复性以及响应与恢复速度进行了分析。

关键词： 石英晶振 湿度传感器 碳纳米管

作者: 赵振刚 刘晓为 周新来 张中鑫 谭晓昀

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 哈工大微系统与微结构加工教育部重点实验室，哈尔滨，150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 314-315

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）