基于掺杂SiO2多壁碳纳米管湿敏传感器特性研究

摘要：

碳纳米管(CNT)由于其多孔结构及介于金属和半导体间的独特电学特性，目前已成为被广泛关注的感湿材料。多壁碳纳米管(MWNTs)价格低廉，并且制作的湿敏传感器响应时间短，具有较好的灵敏度和重复性，工作温度低，具有很好的应用前景。本文研究了掺杂Si02多壁碳纳米管湿敏传感器的特性，通过实验证明掺杂SiO2可以改善传感器的灵敏度和噪声特性，并且该传感器的电容和电导的温度特性具有良好的线性度，利于实现温度补偿。

关键词： 碳纳米管 湿敏传感器 温度补偿 噪声特性 灵敏度

作者: 李拓 刘晓为 周新来 赵振刚 张中鑫

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心，黑龙江省哈尔滨市，150001 哈尔滨工业大学MEMS中心，黑龙江省哈尔滨市，150001 哈工大微系统与微结构加工教育部重点实验室，黑龙江省哈尔滨市，150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 324-325

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）