电容式MEMS温度传感器瞬态响应时分析与实验

摘要：

温度传感器是一种应用广泛的传感器。温度传感器种类繁多，不同的应用要求温度传感器具有不同的静态特性和动态特性。本文提出的一种新型MEMS电容式温度传感器，主要用于探空仪中探测大气温度。它要求不仅要具有较宽的工作温度范围而且要具有快速的响应时间。虽然该MEMS温度传感器体积小、本征响应时间短，但是在封装后，封装壳体会大幅增大整个传感器的响应时间。所以有必要分析整个传感器的响应时间并确定合适的封装形式。

关键词： 温度传感器 瞬态响应 封装形式

作者: 马洪宇 黄庆安 秦明

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,10096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 346-347

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）