Ti DRIE中Lag效应的基础研究
金属钛DRIE工艺是最近发展的一种新型MEMS加工工艺，这种技术利用感应耦合产生高密度等离子体对钛进行刻蚀，通常采用Cl2气体，无钝化周期，侧壁陡直光滑。它可以通过光刻图形定义在钛本体上加工高深宽比结构，利用金属钛良好的机械特性、耐腐蚀性和生物兼容性，开发出微镜、微开关、微针尖一系列新型M=EMS器件。与硅DRJE类似，金属钛的DRIE中也存在Lag效应：即刻蚀速率同掩膜图形和加工参数相关，以至在相同加工时间内，不同刻蚀图形加工出深度不同的结构，严重影响刻蚀的均匀性。
金属钛 加工工艺 感应耦合 机械特性 耐腐蚀性 微机电系统
张乐吟 赵刚 舒琼 田尧 陈兢
北京大学微电子学研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室，北京，100871
国内会议
哈尔滨
中文
368-369
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）