基于压阻效应的MEMS三维微力探针传感器的性能测试
力传感器作为测试仪器及机械力操作系统的主要元件广泛应用于军事与工业领域。随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展，越来越多的学者与科研机构开始对微观世界进行深入研究，传统的力传感器己不能满足在MEMS系统中微尺度结构力学性能的研究，如：机器人触觉系统中的微力测量与加载、微纳器件装配中的微力监测、人体微血管张力测量、生物技术、细胞操作以及微纳制造技术等领域中对微力测量与控制的需要。针对以上问题，基于压阻效应，结合MEMS技术设计制作了～种硅微微力探针传感器，该传感器可测量三维微牛(μN)量级的力。本文主要研究开发该传感器的性能测试系统。
压阻效应 微力测量 力传感器 微机电系统
王伟忠 赵玉龙 林启敬
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安，710049
国内会议
哈尔滨
中文
385-386
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）