振动式微陀螺检测模态闭环控制技术研究
振动式微陀螺具有体积小、功耗低、价格便宜等特点，在近程制导武器、稳定平台、汽车安全、消费电子等军用和民用领域具有广泛的应用前景。振动式微陀螺利用哥氏力效应检测输入角速度，它有两个正交的工作模态，即驱动模态和检测模态，其测量灵敏度与驱动模态振动幅值成正比。为提高测量灵敏度，通常要对微陀螺进行真空封装，提高驱动模态的Q值。然而，真空封装后，微陀螺检测模态Q值也很大，使得微陀螺检测模态自由响应的持续时间很长，甚至可能导致检测模态产生自激振荡，严重影响微陀螺的动态性能，因此，必须对高Q值微陀螺的检测模态进行闭环控制。文献介绍了振动式微陀螺测控电路的实现方式，其中对驱动模态进行了闭环控制，而检测模态均为开环工作状态。本文设计了一种采用速度反馈的检测模态闭环控制方案。并对闭环控制效果进行了实验验证。
速度反馈 闭环控制 驱动模态 微陀螺
肖定邦 陈志华 侯占强 满海鸥 吴学忠 李圣怡
国防科技大学机电工程与自动化学院微系统实验室，长沙，410073
国内会议
哈尔滨
中文
403-404
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）