MEMS压阻式湿度传感器系统温漂的测试与抑制
湿度传感器广泛应用于气象站、家电、汽车、医疗、自动控制等领域。MEMG压阻式湿度传感器有很多优点：体积小、响应快、线性好、精度高，所以引起人们的兴趣得以广泛应用。本实验室设计的湿度传感器工作原理是利用感湿聚合物吸收水分后体积膨胀产生张力，导致与聚合物粘连的薄膜发生形变，使得锚区附近的应力增大。在锚区附近制作压敏电阻可检测出应力的大小，其阻值产生相应的变化，利用惠斯通电桥产生了变化的电压信号，通过放大器和模数转换，经过湿度标定输出数字湿度值。
湿度传感器 电压信号 模数转换 压敏电阻
何琦 顾飞 秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室，南京，210096
国内会议
哈尔滨
中文
411-412
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）