表面工艺多层薄膜热扩散系统在线测试分析
提出了一种可实现对多层薄膜热扩散系统在线提取的简单电学测试方法.测试可以在自然环境下进行，只需实验室常用的数字示波器和探针测试台。该测试结构中含有与待测n层薄膜相同的n组测试结构阵列，每组测试结构含有两个长度不同，宽度与层数相同的多层薄膜梁。通过分析n组多层薄膜梁的瞬态冷却特性，荻取其冷却过程中的衰减时间常数，便可提取出多层薄膜的热扩散系数。研究表明，该测试方法具有实用价值，可以在实际工艺线上应用，监控器件设计及其制作工艺。
多层薄膜 在线测试 表面工艺 热扩散系统
许高斌 陈兴 王鹏 张平
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心，合肥 230009
国内会议
哈尔滨
中文
458-461
2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）