纳米结构与纳米器件特种加工及表征技术研究

摘要：

本文在对纳米结构与纳米器件特种加工技术一电子束光刻(E-Beam)和聚焦离子束(FIB)研究的基础上，实现了多种纳米结构与纳米器件的加工。进而通过扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)实现了纳米结构的表征，得到了清晰的纳米结构图像，为进一步研究纳米器件奠定了基础。在纳米结构与纳米器件的加工技术中，E-Beam技术可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形，可用于特殊纳米结构的制备、模版制作与检测、多维形貌学和纳米工程。

关键词： 纳米结构 纳米器件 特种加工 电子束光刻 聚焦离子束

作者: 王广龙 侯建国 冯丽爽 唐捷 高敏 敦怡

作者单位: 军械工程学院导弹工程系,石家庄,050003 中国科技大学微尺度物质科学国家实验室,合肥,230026 北京航空航天大学光电工程系,北京,100083 National Institute for Materials Science,Tsukuba,Jaoan

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 499-500

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）