Pd/Nb40Ti30Ni30/Pd/多孔Ni支撑体复合膜的制备与氢渗透性能

摘要：

本文采用压缩Ni粉并在氢环境中烧结还原处理的方法制备了多孔Ni支撑体；采用磁控溅射方法制备了Nb40Ti30Ni30合金膜，并利用XRD、SEM+EDS、TEM、DSC和纳米压痕等实验方法对膜性能进行表征，研究Nb40Ti30Ni30合金膜的成膜工艺。最后以Nb40Ti30Ni30合金为选择性渗透膜层，以多孔Ni为支撑体，采用磁控溅射方法制备了Pd/Nb40Ti30Ni30/Pd/多孔Ni支撑体复合膜，对其氢渗透性能进行测定，并与自支撑体渗透膜进行比较。

关键词： 磁控溅射 支撑体复合膜 氢渗透性能 成膜工艺 合金膜

作者: 熊良银 刘实 戎利建

作者单位: 中国科学院金属研究所特殊环境材料研究部,辽宁 沈阳 110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国核靶技术学术交流会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 34

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）