Br-GDP薄膜的结构与红外/紫外光谱分析

摘要：

本文采用射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)方法，以溴乙烷(C2H5Br)为单体，氢气(H2)为载气，室温条件在硅片、石英衬底上生长了掺溴非晶碳氢薄膜(a-C:Br:H)，用FTIR、 UV-VIS光谱及多高斯(muti-Gaussian)解谱分析对溴掺杂及掺杂浓度对样品结构及光学性质的影响进行了研究。

关键词： 射频等离子体 化学气相淀积 溴掺杂 光学性质 薄膜制备 光谱分析

作者: 冯建鸿 卢铁城 吴卫东

作者单位: 四川大学物理系,辐射物理及技术教育部重点实验室,四川 成都 610064 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900 四川大学物理系,辐射物理及技术教育部重点实验室,四川 成都 610064 中国科学院国际材料物理中心,沈阳 110015 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国核靶技术学术交流会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 57-58

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）