微尺度正弦波调制曲面加工与表征
本文采用超精密加工技术，利用金刚石刀具完成了调制曲面的车削加工。解决了尖刃金刚石刀具设计和刃磨技术，使刀尖圆弧半径R<2μm，目前最小刀尖角达到17°；解决了尖刃刀刀尖与主轴轴线等高的调整技术，使△Y<1μm，这个参数对加工质量和刀具寿命至关重要；采用逐点拟合法，解决了正弦波曲线拟合技术；解决了工件装夹、定位、切削参数的选择和优化等各种工艺问题；通过对上述关键技术的解决，加工出波长(约为(20～150)μm、峰谷高度差(η)为(0.2～20 )μm的系列带正弦波调制曲面，λ/η=5～10。波长尺寸精度为±0.5μm，峰谷高度差尺寸精度为±0.1μm。利用台阶仪测量轮廓曲线，得到正弦波曲线数据，利用功率谱分析，并与理论轮廓线进行比较，采用原子力显微镜(AFM)对模板表面轮廓进行扫描，表明，在20μm×20μm的范围内，其表面粗糙度值小于lOnm RMS。
超精密加工 原子力显微镜 调制曲面 车削加工 正弦波曲线拟合
黄燕华 高党忠 谢军 罗炫 童维超
中国上程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳,621900
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2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）