纳米级厚度金属薄膜表面反射光相位变化测量

摘要：

本文以相移干涉技术和原子力显微镜对纳米量级厚度金属薄厚的测量结果为研究对象，分析了不同厚度的AL，Au薄膜表面反射光的相位变化量，获得了相位变化量随薄膜厚度变化的关系，相关的实验结果一方面为进一步实现薄膜材料的光学干涉计量误差补偿技术研究打下了一定的基础，另一方面也为薄膜材料反射光相位变化特性的测量提供了一种新的方法。

关键词： 相移干涉 原子力显微镜 纳米级厚度 薄膜材料 反射光相位

作者: 马小军 高党忠 赵学森 易泰明 叶成钢

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国核靶技术学术交流会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 78

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）