温度条件对锆钒薄膜结构的影响

摘要：

本文借鉴文献中的分析结论——“衬底温度对薄膜在界面处的形核和生长有很大影响”，研究了不同衬底温度(300℃、400℃、650℃、750℃)条件下沉积的薄膜结构。研究发现：沉积温度较低(如300℃、400℃)时，XRD物相分析结果主要呈非晶态，只有部分结晶成α-Zr和V，且晶粒小到纳米量级；沉积温度升高(如650℃、750℃)时，XRD分析结果得到比较完整的结晶，主要是α-Zr和V。

关键词： 锆钒薄膜 薄膜结构 衬底温度 物相分析

作者: 刘锦华 姚冰 郝万立

作者单位: 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川 绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国核靶技术学术交流会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 122

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）