掺锡二氧化硅玻璃薄膜制备与测试
通常所说的玻璃材料的光敏性，主要是指某些玻璃材料受光照作用后，其折射率会产生持久稳定的变化。目前利用玻璃材料的光敏性，可以制作出大量基于折射率调制的光子学器件，这些器件已经广泛应用于光通讯及光传感等等各个领域。最近的研究也指出，通过掺一些诸如Ge和Sn之类的元素，可以增加某些玻璃材料其对光的折射率。通过化学气相沉积法和溶胶凝胶法制得掺二氧化锡的二氧化硅薄膜，其光致折射率大约为10-1和10-4叫量级。而为了使薄膜达到一定的厚度，使其满足平面波导的条件，可以通过增加拉膜次数来提高其膜厚。溶胶凝胶法制膜所用的前驱物为金属醇盐或无机盐。实验中使用正硅酸乙酯做为金属醇盐，无水乙醇为溶剂。制得溶胶后，选用浸溃法拉膜，在拉膜的过程中，提拉速度控制在lOcm/min。而后通过电阻炉进行加热致密，重复以上步骤就可以得到具有一定厚度的薄膜样品。
二氧化硅 溶胶凝胶 化学气相沉积 薄膜制备
王铿 贾宏志
上海理工大学光学与电子信息工程学院 上海 200093
国内会议
2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会
上海
中文
146-147
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）