Al和MgF2金属介质多层滤光膜特性及其环境稳定性研究

摘要：

采用真空热蒸发和电子束蒸发方法，制备了Al和MgF2多层滤光膜，研究了真空退火工艺对多层滤光膜光谱、形貌特性和环境稳定性的影响。结果表明，经150℃、300℃真空退火后，滤光膜表面平整度提高，峰值透射率升高，半宽度增大,滤光膜可见光波段的抑制性变差;将未退火样品、经150℃、300℃真空退火样品分别放置14天，比较光谱发现，经150℃真空退火的滤光膜环境稳定性最好。

关键词： 环境稳定性 真空热蒸发 金属介质 多层滤光膜

作者: 郑秀萍 吴永刚 付联效 王振华 曹鸿 张莉 焦宏飞 彭东功

作者单位: 同济大学，精密光学工控技术研究所，上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 155-161

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）