高反射率Mo/B4C多层膜研究

摘要：

Mo/B4C多层膜是6.7～8nm波段高反射率反射镜较好的材料组合，用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜，得到了相应的结构参数，采用直流磁控测射方法实现了Mo/B4C多层膜的制作。运用同步辐射光原完成了Mo/B4C多层膜反射率的测量，结果表明在7.025nmth Mo/B4C多层膜的近正入射反射率为21％。

关键词： 多层膜 遗传算法 磁控测射 反射率

作者: 张慧晶 王占山 陈玲燕 张众 朱京涛 白亮 陈锐 黄秋实 刘丽琴 谭默言 王风丽

作者单位: 同济大学精密光学工程技术研究所，物理系，上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 221-225

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）