激光精细加工应用--IC探针卡激光微孔加工系统与工艺开发研究

摘要：

本文简单介绍了半导体产业集成电路芯片测试用探针卡，分为以悬臂梁方式的环氧探针Epoxy ringprobe、垂直探针Vertical probe caLrd和微弹簧丝探针MjcroSpring probe card。以及基于微机电系统的MElls probe card。开发了激光微孔成型精细加工系统，采用半导体泵浦紫外固体激光(Uv DPSsL 355nm)，成功研制了紫外激光微加工光学系统，运用新的光学设计思想开发了远心扫描物镜等光学元件，开展IC半导体芯片测试探针卡探针导向片微孔列阵成型工艺和材料特性研究。进一步研制开发了新型旋转打孔的电子光学系统。

关键词： 激光精细加工 紫外固体激光 远心扫描物镜 微孔列阵

作者: 王又良 潘涌 沈冠群 沈可余 姜兆华 张伟 张宛平

作者单位: 上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,依然半导体测试技术有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 253-254

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）