紫外激光加工在红外器件技术中的应用

摘要：

随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长，对加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔点材料)的精密处理日渐成为激光在工业应用中发展最快的领域之一，从而对该些材料的激光加工技术也相应日趋成熟。本文涉及的激光加工技术是目前应用范围较广、加工质量较好的紫外激光加工技术。

关键词： 紫外激光加工 红外器件 精密处理

作者: 俞君

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 276-277

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）