电容传感式拼接光栅位移偏差在线检测系统
在神光Ⅱ工程建设中，高精度大口径光栅拼接装置是光传输组件之一，所谓光栅拼接，是将几块具有相同参数的子光栅，通过机械装装置的调整，使其相互间的位相差足够小或者同位相，从而相当于一块完整的光栅。要实现大面积的光栅拼接，关键在于各子光栅间极高的共面精度与光栅拼缝稳定性的实现，根据项目要求，各子光栅间的共面精度S应保持在十几个run的数量级，光栅拼缝L稳定性长时间优于20nm。笔者采用的光栅拼接装置包括粗调和精调两部分，先进行粗调将位置精度调整在一定程度范围内后锁定，再由精调机构作进一步调整，精调机构是以柔性铰链作为运动副，压电陶瓷作为驱动器的微位移平台构成。
电容传感 在线检测 光栅拼接 共面精度
师树恒
中科院上海光机所
国内会议
2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会
上海
中文
346-347
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）