微成形技术及微细加工

摘要：

阐述了微成形的基本概念、应用及研究进展;从材料性能、摩擦、润滑、模具以及成形设备等方面分析了微成形技术的特点;概述了微成形中的尺度效应现象;介绍了LIGA技术、准LIGA技术、硅刻蚀技术，特种微细加工等典型的微细加工技术特点.

关键词： 微成形技术 尺度效应 微细加工

作者: 王慧钰 王匀

作者单位: 江苏大学，镇江 212013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国塑性工程学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 558-560

在线出版日期: 2009-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）