磁性薄膜微型电感器研究

摘要：

在详细分析讨论薄膜电感器的经典π等效电路模型之后，提出了薄膜电感器的改进π等效电路模型，并通过仿真证明了新模型的合理性。在模型讨论和仿真结果的指导下，选取Ni-Cu-Zn铁氧体为磁心材料，制作了铁氧体薄膜电感器。通过实验数据的对比，讨论了制备工艺和薄膜电感器结构对电感器性能的影响，实验上得到了高性能的薄膜电感器。

关键词： 薄膜电感器 等效电路模型 磁性薄膜

作者: 岳帅旗 冯则坤 韩冲

作者单位: 华中科技大学 电子科学与技术系，湖北武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国高新磁性材料及器件讨论会

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 119-128

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）