基于LTCF工艺的YIG振荡器技术

摘要：

常规的YIG振荡器电路都是薄膜电路上通过混合集成的方式完成的，不利于大批量生产，而且YIG小球作为外围谐振器，需要外加支撑杆使YIG小球悬空在磁场正中间，该种结构必然会影响产品的批量一致性和性能，特别是器件的防振颤特性。有鉴于此，本文主要叙述了基于LTCF(低温共烧铁氧体 )工艺的YIG振荡器的设计及制作技术及实验情况。

关键词： YIG振荡器 低温共烧铁氧体 薄膜电路

作者: 陈劲松 蓝江河 张菊艳

作者单位: 中国电子科技集团公司第九研究所，绵阳 621000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国微波磁学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 300-304

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）