微机电磁场传感器发展综述

摘要：

本文就最近几年发展起来各种结构、各种原理、各种测试方法的MEMS传感器进行了简单的介绍，包括光学检测的扭转式MOEMS磁场传感器、铁磁微机械磁场传感器、Ni薄板做为传感单元的磁场传感器以及谐振微机械磁场传感器等14种。

关键词： 光学检测 磁场传感器 谐振微机械

作者: 杜广涛 陈向东

作者单位: 西南交通大学，信息科学与技术学院，610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议

会议地点: 贵州

会议语种:中文

页码: 16-18

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）