XPS定量分析探讨

摘要：

本文用XPS(X射线光电子能谱)的Scofield计算灵敏度因子法和Wagner经验灵敏度因子法对生长在硅片上的铕硅酸盐薄膜(约200nm厚)样品中的组分进行了分析测试，并讨论了那种方法更接近于真值，最后对影响定量分析的因素进行了总结和分析。

关键词： X射线光电子能谱 灵敏度因子法 铕硅酸盐薄膜

作者: 吴正龙 程斌

作者单位: 北京师范大学分析测试中心 100875 北京化工大学分析测试中心 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议

会议地点: 贵州

会议语种:中文

页码: 126-128

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）