XPS定量分析准确性的探讨

摘要：

本文用Thermo Fishier ESCALAB 250型X射线光电子能谱仪对化合物粉末试剂的定量结果进行了比较分析，讨论了碳污染对定量分析的影响，并比较了仪器自带软件Avantage中用Scofield和Wagner灵敏度因子计算、同一元素不同能级光电子峰定量及不同阳极靶的测量结果差异。

关键词： X射线光电子能谱 粉末试剂 定量分析 碳污染 灵敏度因子

作者: 邱丽美 徐广通 吴正龙

作者单位: 北京石油化工科学研究院，100083 北京师范大学分析测试中心 100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议

会议地点: 贵州

会议语种:中文

页码: 131-132

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）