电压施加方式对阳极氧化钛薄膜晶体结构的影响

摘要：

采用阳极氧化的方法，通过改变电压的施加方式制备了具有不同形貌的氧化钛薄膜，使用X-射线衍射仪对阳极氧化钛薄膜的晶体结构进行了分析。研究结果表明，电压施加方式不影响氧化钛薄膜的晶体结构，采用不同电压施加方式制备的氧化钛薄膜均为锐钛矿型，并且在相同的晶面上优先生长。在两步施加电压法中，在不同的初始电压下氧化钛薄膜优先生长的晶面不同。

关键词： 阳极氧化 氧化钛薄膜 电压施加方式 晶体结构

作者: 巩运兰 杨云 白正晨

作者单位: 天津商业大学理学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 374-377

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）