利用四极质谱计研究浸渍阴极的热蒸发特性

摘要：

热阴极是电真空器件的心脏，广泛的应用在微波管、行波管等器件中。热阴极中活性物质的蒸发特性对于研究热阴极的性能、评价阴极寿命及改进其制作工艺都有着重大的意义。因此研究阴极的蒸发特性很有必要性。本文利用四极质谱计(QMS)研究浸渍阴极的热蒸发特性。

关键词： 电真空器件 热阴极 热蒸发特性 质谱分析 四极质谱计

作者: 王鹏翔 肖梅 张晓兵 雷威 王保平

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院 南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届华东三省一市真空学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 256-261

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）