磁控溅射技术无铅金属化技术在电子行业的应用

摘要：

磁控溅射技术是一种低温升、高速率的成膜技术，已经广泛应用于许多领域。随着环保问题的日益突出，无污染镀膜技术变得越来越迫切。本研究环绕“绿色制造”这一主题，结合作者多年实践，介绍磁控溅射技术在电子行业的一些应用。现对磁控溅射在绿色制造上的优势及膜系结构的相关内容进行了简述。

关键词： 磁控溅射技术 无铅金属化技术 电子工业 成膜技术

作者: 王德苗

作者单位: 浙江大学信电系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届华东三省一市真空学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 320-322

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）