DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能研究

摘要：

本文采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备TiO2透明自清洁功能薄膜，选用四异丙醇钛(TTIP)，NH3作为反应先驱体，另外再加入一定量的N2、Ar或者He作为稀释气体控制气体的流量和流速，采用自制的DBD-CVD系统，模拟浮法玻璃在线镀膜工艺，旨在系统地研究掺N对薄膜结构、光学性能的影响。

关键词： 掺氮二氧化钛薄膜 介质阻挡放电化学气相沉积法 薄膜结构 光学性能

作者: 高倩 张溪文 韩高荣

作者单位: 材料与化学工程学院，浙江大学，杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届华东三省一市真空学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 327-331

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）