微纳米压印聚合物波导微环谐振器研究
在成功研发出一类具有低光学损耗、良好成膜特性和可热/光双固化的纯液态高性能聚合物光波导材料PSQ-Ls的基础上，对紫外微纳米压印工艺制备聚合物基集成光波导器件进行了实验研究，成功制备出聚合物波导微环谐振器。实验测试该器件直通端口和下载端口的消光比分别为6dB和18dB，品质因子Q值为4.2×104，从测得的谐振滤波光谱分析得出环形波导的散射损耗约为1.6dB/cm。研究结果表明，微纳米压印工艺是一种高效、低成本的聚合物基集成光子器件制备技术。
聚合物光波导材料 微纳米压印 微环谐振器 聚合物波导
滕婕 韩秀友 王凌华 张洪波 王锦艳 蹇锡高 赵明山
大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 大连理工大学光子技术研究中心,大连,116024 大连理工大学化工学院,大连,116012 大连理工大学光子技术研究中心,大连,116024 大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 大连理工大学光子技术研究中心,大连,116024 大连理工大学化工学院,大连,116012
国内会议
长春
中文
64-69
2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）