低功耗2×2聚合物热光开关的制备

摘要：

设计了一个2×2的多模干涉.马赫曾德干涉仪型(MMI-MZI)波导热光开关，选用一种可交联的负型光刻胶作为波导芯层，利用光刻版掩模紫外曝光后，通过显影得到所设计的波导结构，制作工艺非常简单。实验结果表明该光开关的开关功率为7.5mW。

关键词： 热光开关 多模干涉仪 聚合物 低功耗 波导结构 负型光刻胶

作者: 高磊 孙小强 康彩萍 闫云飞 王菲 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 111-114

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）