基于SU-8材料的波导生化传感器

摘要：

本文介绍了基于消逝场原理，利用SU-8光刻胶制备检测溶液或血液中NaCI含量的马赫-曾德尔干涉仪型(MZI)导波光学生物传感器。分析了为满足传感需要的波导结构设计，通过控制SU-8折射率使其可作为波导芯/包层并制作了器件，得到了较好的近场输出光斑。

关键词： 光波导传感器 消逝场 马赫-曾德尔干涉 SU-8材料 光刻胶 波导结构

作者: 杨天夫 陈长鸣 王菲 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 145-148

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）