准矩形有源光波导的设计与制备

摘要：

研究了一种准矩形有源光波导的设计与制备。利用溶胶凝胶法合成有机/无机杂化电光材料，旋涂在长有SiO2的si衬底上作为波导芯层。利用光刻、显影和等离子体刻蚀(ICP)工艺，使旋涂在电光材料层上的甲基丙烯酸甲酯-环氧丙酯共聚物(PMMA-GMA)与电光材料共同构成M-Z(Mach-Zehnder)准矩形电光调制器波导。经测试可获得良好的近场光输出。

关键词： 聚合物 准矩形波导 电光效应 有机无机杂化 电光材料 溶胶凝胶法

作者: 孙小强 高磊 孙杰 高伟男 康彩萍 郑红丽 王菲 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 159-161

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）