极化聚合物加载条形光波导的制备研究

摘要：

本文利用溶胶凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料，采用光刻、湿法刻蚀、蒸镀铝膜等平面光波导制作工艺，制备了加载条形结构的极化聚合物分束器和3×3多模干涉光波导，并成功进行了近场输出光斑测试。

关键词： 聚合物光波导 有机无机杂化电光材料 多模干涉 溶胶凝胶法 湿法刻蚀 近场输出光斑

作者: 康彩萍 孙小强 高磊 郑红丽 陈长鸣 靳琳 王菲 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2009-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）